Struktur injap pengatur tekanan aliran silang menarik untuk aplikasi kawalan tekanan aliran tinggi disebabkan oleh pengurangan daya penggerak yang diperlukan dan kawasan jejak peranti yang berkurangan. Injap pintu pisau telah dibuat, mengawal aliran 1.3 Nl/min pada tekanan bekalan 1.5 bar. Injap dibuat secara mikro menggunakan etsa ion reaktif dalam (DRIE) dan ikatan gabungan silikon. Penggunaan injap pintu pisau bermesin mikro dalam sistem kawalan tekanan meningkatkan prestasi dan penjimatan kos dapat direalisasikan.
Hantar pertanyaan
